高溫爐化學氣象沉積系統 (CVD for 2-dimensional materials)

(與本系駱芳鈺教授合作)

用途：製備二硫化鉬等二維材料。

在爐管中加熱使得各個原料氣化後，利用氬氣吹送使得各個氣化的元素混合並形成化合物後沉積在基板上。由於各個原料的氣化溫度完全不同，因此爐管各個區段的溫度控制就極為重要。