原子力顯微鏡 (atomic force microscope, AFM)

用途：測量樣品表面形貌。

原子力顯微鏡是靠量測針尖的振動頻率來判斷高低起伏的。當針尖與樣品表面接近時，凡得瓦力會改變探針的震動頻率。探針的震動則是藉由感應一道經過探針背面反射的雷射光來判讀。探針的振動頻率改變時，雷射的反射光點的振動頻率也會跟著改變，藉此來判斷樣品表面與探針的距離。